Number：

04100005

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Name：

劉啟昌

Titles：

副教授

Author：

楊琮仁、紀家興、王仁鴻、柯政男、林建豪、劉啟昌

Paper name：

第十五屆奈米工程暨微系統技術研討會

Name of activity：

雙離子束濺銅鋁氧化物薄膜之微結構與光電特性研究

Keywords： 銅鋁氧、、雙離子束濺鍍、穿透度

Abstract： 透明與導電的薄膜，這兩種特性運用在產業上的趨勢越來越多，對於奈米薄膜附著在各種元件的表面，增加元件上的導電能力與透明的表現，使電子與光電產業突破上的發展。由於薄膜大多是N型的電性，P型的薄膜特別少，阻礙了電子元件運用，目前銅鋁氧(Copper Aluminum oxide, CuAlO2)是一種優良的P型的透明導電薄膜，並且擁有熱電與光伏的特性，是一種值得發展研究的材料。本研究主要以雙離子束濺鍍系統(Dual ion beam sputtering, DIBS)，使用CuAlO2陶瓷靶材製備薄膜，並搭配補助離子束的放電電壓與電流的改變對薄膜影響力，探討薄膜光電性值的表現。

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