Number：

04100004

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Name：

劉啟昌

Titles：

副教授

Author：

楊琮仁、紀家興、郭晉全、劉啟昌

Paper name：

退火時間對於雙離子束濺鍍銅鋁氧薄膜之光電特性研究

Name of activity：

中國機械工程學會第二十八屆全國學研討會

Keywords：銅鋁氧、雙離子束濺鍍、穿透度

Abstract：透明與導電的薄膜，這兩種特性運用在產業的趨勢越來越多，對於奈米薄膜附著在各種元見的表面，增加元件上導電能力與透明的表現，使電子與光電產業突破上的發展。由於薄膜大多是N型的電性，P型的柏模特別少，目前銅鋁氧(Copper Aluminum oxide, CuAlO2)是一種優良的P型的透明導電薄膜，並且擁有熱電與光伏的特性，是一種值得發展研究的材料。本研究主要以雙離子束濺鍍系統(Dual ion beam sputtering, DIBS)，使用CuAlO2陶瓷靶材製備薄膜，最後薄膜進行退火處理，探討薄膜光電性值的表現。

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