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Number： |
04097006 |
Download |
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Name： |
Jenq-Hwu Liou |
Titles： |
Associate Professor |
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Author： |
Jenq-Hwu Liou |
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Paper name： |
Aerostatic bearing gas chamber fillet convection field performance analog and transient pressure measurement |
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Name of activity： |
Fifteenth National Computational Fluid Dynamics Conference |
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Keywords：Aerostatic bearing, Comsol software, eddy |
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Abstract：氣體靜壓軸承應用於高精密機械及量測設備上已經越來越多，對於氣體靜壓軸承的移動及定位要求精度已經需要到次奈米等級，其中氣室渦流的影響對靜壓軸承流暢穩定相當大，因此本文以實驗量測先探討導圓角對氣室流場影響及氣室暫態壓力量測，以Comsol軟體模擬有無導圓角對氣室流場的影響。實驗分別以固有的節流孔外形及導圓角的節流孔外形，來探討氣流由節流孔進入氣室內的微小震動並進一步了解氣體靜壓軸承之性能。本研究初步發現有導圓角會改善有氣室內所產生的渦流流場，並且趕善氣體靜壓軸承氣室內的微小震動，可以提高軸承運轉穩定性能，使用軟體模擬複雜軸承幾何外形作為定性上了解氣體靜壓軸承性能，並且用實驗量測來驗證軟體獲得的結果，提供作為設計氣體靜壓軸承之參考依據。 |
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